A vrstični elektronski mikroskop(SEM) je vrsta elektronskega mikroskopa, ki se uporablja za skeniranje mikrobnih površin, ki uporablja nizkoenergijski gibljivi elektronski žarek za fokusiranje in skeniranje vzorca.
Razvoj elektronske mikroskopije so pripisali neučinkovitosti valovnih dolžin optične mikroskopije. V primerjavi s svetlobnimi mikroskopi imajo elektronski mikroskopi kratke vertikalne valovne dolžine in zato dosegajo boljšo ločljivost.
Principi vrstične elektronske mikroskopije
Za razliko od transmisijske elektronske mikroskopije, ki uporablja oddane elektrone, vrstična elektronska mikroskopija uporablja oddane elektrone.
Vrstična elektronska mikroskopija deluje z uporabo kinetične energije za ustvarjanje signalov o interakcijah elektronov. Ti elektroni so sekundarni elektroni, povratno sipani elektroni in difraktirani nazaj sipani elektroni, ki se uporabljajo za opazovanje kristalnih elementov in fotonov. Sekundarni elektroni in nazaj sipani elektroni se uporabljajo za izdelavo slike. Sekundarni elektroni, oddani iz vzorca, igrajo pomembno vlogo pri zaznavanju morfologije in topografije vzorca, medtem ko nazaj sipani elektroni kažejo kontrast v elementarni sestavi vzorca.
